由于工业超纯水设备的产水水质比较高已被广泛的应用于半导体、医疗、太阳能光伏、电池、电镀、光学、玻璃、实验室等多个行业之中。
工业超纯水设备是在纯水设备的基础是对纯水进行深度净化的设备，不管是纯水还是超纯水高备所用的材质都差不多，只是制水的工艺配置不同，比如它们的预处理系统的罐体材质都是玻璃纤维（可按客户需求材质来做）材质，连接管道都是PVC的。
工业超纯水设备常规的制水工艺有“双级反渗透超纯水设备电导率≤5us/cm”，“单级反渗透+edi电阻率≤5Ω·m”，“双级反渗透+edi电阻率≤10Ω·m”，“edi系统+抛光混床电阻率18.2Ω·m”。
工业超纯水设备具体的工艺配置如下：
双级反渗透超纯水设备电际率≤5us/cm的制水工艺： 原水箱+原水泵+石英砂过滤器+活性炭过滤器+双级反渗透系统+超纯水箱。
单级反渗透+edi电阻率≤5Ω·m的制水工艺： 原水箱+原水泵+石英砂过滤器+活性炭过滤器+软化系统+单级反渗透系统+edi系统+超纯水箱。
双级反渗透+edi电阻率≤10Ω·m的制水工艺： 原水箱+原水泵+石英砂过滤器+活性炭过滤器+双级反渗透系统+edi系统+超纯水箱。
edi系统+抛光混床电阻率18.2Ω·m”的制水工艺：原水箱+原水泵+石英砂过滤器+活性炭过滤器+双级反渗透系统+edi系统+抛光混床+超纯=水电阻率18.2Ω·m
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