超纯水设备系统从制水工艺配置上分有双级反渗透超纯水设备；单级反渗透+edi超纯水设备；双级反渗透+edi超纯水设备；双级反渗透+edi+核能树脂超纯水设备，这些配置的产水水质都各有不同，配置超多产水水质就越好，比如双能反渗透的产水质电导率在1us/cm—10us/cm之间，双级反渗透+edi+核能树脂的产水电阻率可以达到18.2兆欧，18.2兆欧的水质也是目前水处理行业中最好的水了。
超纯水设备系统不管是用哪种处理工艺它们的共同点就ro系统前面的预处理（砂过滤+炭过滤+精密过滤器）都是相同的，预处理的主要目的是过滤原水中的泥沙，铁锈，红虫，色素，异味，胶原体，氯离子等杂质，其目的是保护反渗透系的ro膜的使用寿命，所以预处理是相当重要。
超纯水设备系统的制水工艺流程有：
双级反渗透制水工艺： 原水箱+原水泵+石英砂过滤器+活性炭过滤器+双级反渗透系统+超纯水箱=电际率≤5us/cm。
单级反渗透+EDI制水工艺： 原水箱+原水泵+石英砂过滤器+活性炭过滤器+软化系统+单级反渗透系统+edi系统+超纯水箱=电阻率≤5Ω·m
双级反渗透+EDI制水工艺： 原水箱+原水泵+石英砂过滤器+活性炭过滤器+双级反渗透系统+edi系统+超纯水箱=电阻率≤10Ω·m
EDI系统+抛光混床制水工艺：原水箱+原水泵+石英砂过滤器+活性炭过滤器+双级反渗透系统+edi系统+抛光混床+超纯=水电阻率18.2Ω·m
超纯水设备系统各主要部件的作用
原水泵：
解决原水水压力不稳定，满足预处理进水压力恒定，流量充足，确保RO系统正常运行。
石英砂过滤器：
石英砂过滤器是玻璃钢材质的压力式过滤容器，耐压 6kg/cm2，是一种先进的微絮凝过滤方式，罐内填装高耐磨精制石英砂，可拦截原水残留少量细小的泥沙、杂质、胶状物体、悬浮物等藻类可见物，对原水中的浊度、色度起到降低作用，滤除不溶于水中的（氧化物、浊度、颗粒物等）杂质，特别是在降低原水中的浊度、污染指数等方面具有很好的效果。
活性炭过滤器：
活性炭过滤器是玻璃钢材质的压力式过滤容器，耐压 6kg/cm2，内装净水专用颗粒碳，用于吸附水中色素、有机物、余氯、异味、沉积的重金属离子、去除由铁、脱氯、使余氯含量≤1PPM。是水深度处理中不可缺少的材质。
去色：可去除原水中由铁、锰及植物分解的有机污染物所形成的色度。
去除有机物：可去除原水中微量污染物，如农药，杀虫剂，氯化烃，芳香族化合物，以及BOD 与 COD 等。
去除有机氯：可去除原在自来水出厂前投加预氧化剂和消毒剂（如氯气）所产的 THMS 等“三致”物质及余氯所造成的嗅味。
去除氨氮和亚硝酸盐：活性炭可有效去除氨氮、亚硝酸盐、余氯或氧化剂：保护反渗透膜。
除臭：去除水中的微量重金属离子（如汞、铬等离子），合成洗涤剂及放射性物质等。
精密过滤器：
精密过滤器外壳为不锈钢材质，内装过滤精度5us的溶喷PP棉、可拦截预处理流入的杂质、防止原水内的颗粒物在高流速下穿刺或划伤RO反渗透膜表面的脱盐层及过早堵塞、保证进入RO膜的水干净清澈、延长RO膜的寿命。
高压泵的作用：
高压泵采用立式多级特种离心泵，为反渗透系统提供恒定的动力，确保压力稳定，流量充足，保证反渗透系统的正常运行，高压泵进水口前装有水位压力保护装置，当进水压力异常时高压泵停止运行，以免干转烧坏高压泵。
RO反渗透系统
通过高压泵对过原水施加大于渗透压的压力，利用 RO 膜的分离技术，有效分离出原水中大于 200 的几乎包括所有颗粒、胶体、有机杂质、微生物等有害物及 99%的溶解盐，达到脱盐纯化的目的，使纯水电导率≤10us,(原水质≤300us)。
反渗透技术制纯水与传统的离子交换、蒸馏技术制纯水相比，有设备体积小、能耗低、适应性强、无需酸碱再生剂、工艺简单、易实现自动化、产水质量优良、水质稳定、无微生物、无重金属离子、无有机化合物等优点。排放的浓水对环境无害，是一项符合环保要求的分离技术。
EDI系统：
EDI（Electrodeionization）又称连续电除盐技术，是将电渗析技术和离子交换技术融为一体，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生，EDI与传统的离子交换相比较，EDI在制水过程不需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超纯水，它具有技术先进、出水水质稳定、结构紧凑、操作简便等优点。
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