随着现代科技的发展,人们对工业用水提出的要求越来越高。电子工业用水、电厂发电锅炉用水、医疗及制药工业用水、以及实验室高精密度仪器分析用水等均对水质有极其严格的要求, 其中电子芯片清洗水水质要求已经接近于理论纯水的指标。水处理行业传统的高纯水生产技术都必须采用反渗透+混床离子交换法, 这种配置的超纯水设备操作复杂、酸碱污染、产水成本高。现在都采用更先进的edi来取代混床离子交换树脂, 不仅提高了对水中各种强杂质的脱除率, 而且对产品水中的弱电解质具有较强的去除能力。 这种配置能够连续稳定地制取高品质产水, 产水脱盐率大于99.9%，产水电阻率在1MΩ.cm—18MΩ。
超纯水设备的预处理系统通常包括石英砂过滤器，活性炭过滤器及软化器过滤系统，预处理的作用主要是去除水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，以确保进水要求，减少工作时产生垢物和藻类生长及微生物污染及氧化剂。
1：高效节能，因为反渗透技术结合高效臭氧消毒方法，整个系统工作于常温、低压状态，设备投资省，运行维护费用低，可靠节能：膜处理法的运行成本仅为蒸馏方法的12-15%，非常经济，极具竞争力。
2：稳定可靠。采用膜法工艺及多介质过滤器进行预处理;反渗透膜的微孔透过式工作原理保证了去除水体中所有较大的离子、分子，可以轻松去除分子直径更大的易挥发有机污染物质。
超纯水设备的制水工艺：
1：采用离子交换方式：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
2：采用反渗透水处理设备与离子交换方式为：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
3：采用反渗透EDI方式工艺为：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置紧密过滤器→用水点。
超纯水设备已广泛应用于：电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、钢铁、玻璃清洗用水、半导体工业、精细化工、光学、医药用水、透析医疗用水。等领域。
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