超纯水设备作为反渗透设备后的二次除盐设备，和edi配套一起使用可以制取出高达10-18.2兆欧的超纯水，因此广泛用于微电子工业，半导体工业，发电工业，制药行业和实验室。工业超纯水设备的edi系统已经被几乎所有需要高纯水的公司和最终用户所接受。EDI已经被证实是会被越来越多的用户所使用。
十多年前反渗透已经在工业上被接受，用来代替阳床和阴床。现阶段edi系统也在精制领域代替了混床，edi和ro反渗透一起使用可实连续运行的、无化学处理的系统。这就是EDI超纯水设备。 随着工业发展的需求，众多的工业对于用水的要求可谓是越来越高 ，
早期的工业纯水设备采用的是离子交换技术，主要应用于造纸工业、医药化工以及发电等领域，这些领域对于用水的要求不高，以前用的工业水处理设备会出现化学药剂再生的情况，而且树脂对于部分的有机分子其去除的效率差
工业超纯水设备系统采用多介质过滤器、活性炭过滤器作及保安过滤器作为前级处理，有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过离子交换处理后的水质符合工业生产要求。在经过后端进行精处理系统（混床系统），使其产水水质满足生产用水的要求。
工业超纯水设备采用预处理反渗透技术及edi系统组合而成，能将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
预处理系统通常包括石英砂过滤器，活性炭过滤器及软化器过滤系统，预处理的作用主要是去除水中的有机物、悬浮物、胶体、余氯和钙镁离子等，以确保进水要求，减少工作时产生垢物和藻类生长及微生物污染及氧化剂。
超纯水处理设备特点：
1：高效节能，因为反渗透技术结合高效臭氧消毒方法，整个系统工作于常温、低压状态，设备投资省，运行维护费用低，可靠节能：膜处理法的运行成本仅为蒸馏方法的12-15%，非常经济，极具竞争力。
2：稳定可靠。采用膜法工艺及多介质过滤器进行预处理;反渗透膜的微孔透过式工作原理保证了去除水体中所有较大的离子、分子，可以轻松去除分子直径更大的易挥发有机污染物质。
超纯水处理设备的制水工艺：
1：采用离子交换方式：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
2：采用反渗透水处理设备与离子交换方式为：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
3：采用反渗透EDI方式工艺为：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置紧密过滤器→用水点。
超纯水处理设备已广泛应用于：电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、钢铁、玻璃清洗用水、半导体工业、精细化工、光学、医药用水、透析医疗用水。等领域。
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