化工超纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级紫外杀菌处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不溶解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。超纯水的电阻率可大于18MΩ*cm，或接近18.2MΩ*cm极限值。
化工行业用超纯水系统设备超纯水主要应用于化工反应冷却、化学药剂、化肥及精细化工、化妆品制造过程用水系统、纺织印染、造纸用水，化工试剂生产用纯水；护肤品生产用纯水，洗发水生产用纯水，染发剂生产用纯水；化学实验室、物理实验室、生物实验室等。
化工超纯水设备采用预处理反渗透技术及edi系统组合而成，能将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。
预处理系统通常包括石英砂过滤器，活性炭过滤器及软化器过滤系统，预处理的作用主要是去除水中的有机物、悬浮物、胶体、余氯和钙镁离子等，以确保进水要求，减少工作时产生垢物和藻类生长及微生物污染及氧化剂。
超纯水处理设备特点：
1：高效节能，因为反渗透技术结合高效臭氧消毒方法，整个系统工作于常温、低压状态，设备投资省，运行维护费用低，可靠节能：膜处理法的运行成本仅为蒸馏方法的12-15%，非常经济，极具竞争力。
2：稳定可靠。采用膜法工艺及多介质过滤器进行预处理;反渗透膜的微孔透过式工作原理保证了去除水体中所有较大的离子、分子，可以轻松去除分子直径更大的易挥发有机污染物质。
超纯水处理设备的制水工艺：
1：采用离子交换方式：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
2：采用反渗透水处理设备与离子交换方式为：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点。
3：采用反渗透EDI方式工艺为：原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→后置紧密过滤器→用水点。
超纯水处理设备已广泛应用于：电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、钢铁、玻璃清洗用水、半导体工业、精细化工、光学、医药用水、透析医疗用水。等领域。
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